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晶体硅提纯集成系统

755   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:34:20
一种晶体硅提纯集成系统包括：第一破碎装置、酸洗装置、原料硅矿热炉、第二破碎装置、除碳装置、电子束熔炼装置；通过第一破碎装置将粗硅料破碎，酸洗装置酸洗破碎料后利用原料硅矿热炉进行渣洗熔炼以获得原料硅。第二破碎装置对原料硅破碎后，除碳装置煅烧以降低第二破碎装置生产出的破碎料中的碳含量，电子束熔炼装置对煅烧后的破碎料进行熔炼除磷及以面积变化的面扫描方式及按照第一预定功率对除磷后的原料进行扫描升温，利用熔池与结晶的物料之间的固液界面来使杂质不断的向熔池内汇集、挥发；控制电子束枪以面积不变的面扫描方式且功率逐渐缩小而获得多晶硅半成品，将多晶硅半成品的底部和顶部杂质富集区锯切以获得多晶硅。
声明：
“晶体硅提纯集成系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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