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抬包精炼制备低磷硼多晶硅的方法

981   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:34:17
本发明涉及一种抬包精炼制备低磷硼多晶硅的方法。其步骤为：1）将造渣剂装入中频炉石墨坩埚中加热熔化，得到渣夜，保温；2）在矿热炉出硅液过程中，向抬包底部持续通入空气和氧气的混合气体；3）待出硅液完成后，将中频炉石墨坩埚中的渣液倒入抬包中，同时往抬包里通入氧化性混合气体进行精炼；4）抬包精炼后，将硅渣一起倒入结晶器实现渣硅分离，得到提纯后的低磷硼多晶硅原料。本发明具备充分利用和节约能源、除磷硼效果好，环境无污染等特点。
声明：
“抬包精炼制备低磷硼多晶硅的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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