合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 冶金技术

> 火法冶金技术

> 磁控溅射用复合靶材的设计方法

磁控溅射用复合靶材的设计方法

831   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:33:13
本发明公开了一种磁控溅射用复合靶材的设计方法，涉及磁控溅射技术及无机化合物功能薄膜制备技术领域。其是由切割成5°、10°、30°、60°的扇形段的各组元单质薄板靶材，按照一定角度比例均匀交替拼接构成的复合靶材，其组元成分比例均匀、稳定、易于变更。通过调节各组元的扇形段角度就可以调整复合靶材的成分，从而调节化合物薄膜的化学计量比，且溅射得到的化合物薄膜成分均匀。本发明特别适用于如赫斯勒及半赫斯勒化合物等具有脆性、及由于组元熔点差异较大或部分组元成分易于偏析而难以制成符合化学计量比的化合物靶材的薄膜制备，是一种不需要使用多靶材共溅射法、但能取得共溅射生长化合物薄膜或复合薄膜效果的新型复合靶材设计方法。
声明：
“磁控溅射用复合靶材的设计方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
火法冶金
上一个：相变抑制传热温差发电器件及其制造方法
下一个：运动驱动磁流体发电装置及其制造方法

与 “磁控溅射用复合靶材的设计方法” 相关技术

▪ 钨冶炼硫酸钠废水资源化处理的方法
▪ 铝酸钙精炼渣的制备方法及其应用
▪ 铝业冶炼用碳足迹测算装置及方法
▪ 石墨化阴极及制备方法、铝电解槽、铝电解方法
▪ 富锂电解质提锂废渣回收利用的方法
▪ 快速熔炼中频炉
▪ 真空炉熔炼室内中频炉体翻转支撑装置
▪ 功能性含氟纳米磁珠的制备方法及应用
▪ 低密度高导热铜基石墨热沉材料的制备方法
▪ 地下铲运机及其智能驾驶系统和控制方法

相关火法冶金设备推荐

盘式干燥机
牛蒡提取物喷雾干燥机
水提浓缩液喷雾干燥系统
甜菊糖甙压力式喷雾干燥机
氢氧化镁烘干设备
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪钨冶炼硫酸钠废水资源化处理的方法
▪铝酸钙精炼渣的制备方法及其应用
▪铝业冶炼用碳足迹测算装置及方法
▪石墨化阴极及制备方法、铝电解槽、铝电解方法
▪富锂电解质提锂废渣回收利用的方法
▪快速熔炼中频炉
▪真空炉熔炼室内中频炉体翻转支撑装置
▪功能性含氟纳米磁珠的制备方法及应用
▪低密度高导热铜基石墨热沉材料的制备方法
▪地下铲运机及其智能驾驶系统和控制方法

报名参会
更多+

特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
2024年12月27日 ~ 29日
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024年12月27日 ~ 29日
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
2025年01月03日 ~ 05日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 锂资源综合利用关键技术
下载:180
2 绿色高效提炼稀有金属的研究
下载:148
3 我国主要有色金属湿法冶金技术现
下载:138
4 铜冶炼过程砷的控制和无害化处置
下载:128
5 铜冶金与钢铁基于双碳的学科融合
下载:113
6 矿相重构锂云母矿以同步提取锂铷
下载:109
7 双碳战略背景下的我国铜工业
下载:106
8 赤泥脱硫脱硝、回收铁铝及固化重
下载:105
9 硫代硫酸盐绿色提金及铜冶金固废
下载:103
10 三元正极废料中几种提锂工艺的介
下载:101
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1钼污染处理研究进展
2从红土镍矿中回收有价金属及酸再生循环的方法
3生产磷酸铁的方法
4硫酸锰溶液除杂方法
5从镍铁合金中高效分离镍和铁的方法
6氧化镍矿熔融还原硫化生产低冰镍的方法
7氧化铜矿浸出方法
8用铜精矿直接制取硫酸铜和阴极铜的方法
9有色金属冶炼矿石清洗用的污泥收集装置
10电积镍生产线萃余液除油工艺
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记