本发明公开一种高纯氪/氙气体净化装置,包括:反应管、氢吸附器、冷却器、精密过滤器、产品存储设备,所述反应管、氢吸附器、冷却器、精密过滤器和产品存储设备依次连接,所述反应管位于加热器内,所述反应管内设有气体反应段,所述气体反应段的两端均设有不锈钢筛网层,所述不锈钢筛网层间填充有吸气剂,所述吸气剂呈一端封闭的中空圆柱体。本发明还提供了一种使用上述净化装置制造高纯氪/氙气体的方法及用于上述高纯氪/氙气体净化装置的吸气剂的制造方法。
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“高纯氪/氙气体净化装置及制造方法、吸气剂的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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