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真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的方法及设备

1075   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 14:33:09
本发明属于冶金提纯技术领域,特别涉及一种取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的方法及设备。该方法是在惰性气体中,将硅料熔化形成硅熔体保温;进行定向凝固;待凝固完成85~90%时,停止拉锭,将石英管伸入剩余硅熔体中,之后用真空装置对石英管另一端抽真空,剩余硅熔体在压力差作用下进入石英管中,继续向下拉锭,待坩埚离开加热区后,将尾料收集箱伸至石英管正下方;切断电源,停止加热,石英管胀裂后随尾料下落至尾料收集箱中,坩埚得到的铸锭为高纯硅铸锭。本发明防止了杂质的反扩散,减少了工艺,提高了铸锭的出成率,在凝固结束阶段实现杂质富集区的直接分离,该设备改造安装方便,操作简单,能有效去除铸锭尾部富集的杂质,节约了生产周期和成本。
声明:
“真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的方法及设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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