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用于太阳能电池的高纯多晶硅提纯装置

1071   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 14:33:08
本实用新型属于半导体材料制备领域,具体涉及一种用于太阳能电池的高纯多晶硅提纯装置,包括:熔炼造渣装置、阶梯除磷装置、分步氧化装置和精炼凝固装置。本实用新型将硅液经造渣除杂后,进入阶梯除磷装置,当硅液从硅液流槽口流出时,用电子枪的高能电子束轰击从槽口流出的硅液,从而快速的除去硅液中的磷杂质。在分步氧化装置内用不同的精练气体分步作用,除去硅液中的杂质硼、碳、金属等杂质,再通过脱气精练、定向凝固后,切除硅锭的高杂质部分,得到高纯度的太阳能级多晶硅产品,实现高纯多晶硅的连续工业化生产。
声明:
“用于太阳能电池的高纯多晶硅提纯装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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