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电子束除磷、除金属的耦合提纯多晶硅的设备

695   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:33:05
本实用新型属于用物理冶金技术提纯多晶硅的技术领域。一种电子束除磷、除金属的耦合提纯多晶硅的设备,设备采用真空盖、真空炉壁及装粉盖构成真空设备,真空设备内腔为真空室;真空室内上部装有装粉桶,装粉桶底部带有出料口,出料口装配有外驱式挡粉板,装粉桶出料口底部装有坩埚,坩埚底部装有拉锭机构,拉锭机构上装有硅锭,电子枪安装在真空室上部,电子束流对准硅锭。本实用新型设备结构简单,同时进行电子束熔炼粉体硅料和定向凝固,用电子束快速去除杂质磷,用定向凝固将分凝系数较小的金属杂质去除,有效提高了多晶硅的纯度,达到了太阳能级硅的使用要求。本实用新型成本低,适合批量生产。
声明：
“电子束除磷、除金属的耦合提纯多晶硅的设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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