本发明公开了一种无源真空维持合金的制备方法及其应用,材料合金配方如下:合金配方的主体元素为52wt%‑63wt%,Y为5wt%‑30wt%,Mo为18‑22wt%,W为0.1wt%‑5wt%,Re为0.1wt%‑4wt%,所述Hf为0‑1.8wt%,所述Nb为0‑1.8wt%,所述Ni为0.1wt%‑1.8wt%。将纯度为99.5~99.95%的原材料,按上述合金配方进行配料,其原材料分别为Ti、Zr、Y、Mo、W、Re、Hf、Nb、Ni,对配料进行熔炼制得无源真空维持合金的合金靶坯;或者用
粉末冶金烧结法制得合金靶坯,将合金靶坯进行机械加工,制得所述2英寸~12英寸的合金靶材。本发明用制备的合金,其比表面高和孔隙度大,源于合金中加入了具有d电子轨道的W、使得合金的吸气平衡压降低,有利于合金的吸气性能,能够有效的维持无源。
声明:
“无源真空维持合金的制备方法及其应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)