本发明公开了一种高纯度高强高导铜基靶材及其制备方法,原料按照重量份数比为:高纯银粉0.1~1.0份、
高纯铜银锶合金粉1~10份、余量为铜粉99~99.9份,银粉+铜粉总共100份;其中:铜银锶合金粉合金中银的含量为0.1~1.0%,锶的含量为5~20ppm,余量为铜。本发明采用
粉末冶金的方法对铜粉和银粉进行冷等静压制坯,可确保铜和银的比例保持一致,又可以避免熔炼过程中发生银的偏析。本发明提出的制备方法,在制备高纯坯锭之前先进行多道次区域熔炼获得合金母坯,可保证后续靶材成品的高纯度。
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