一种Fe、Al、Co、Cu、Cr、Mn合金靶材的制备方法,属于
粉末冶金技术领域。本发明解决了目前合金靶材加工过程中原料易氧化、原料间结合力差、浸润不良而导致靶材致密度低、机械加工及成型性能差等问题,本发明选择纯度大于99.9%的Fe、Al、Co、Cu、Cr、Mn块状金属,按照原子等摩尔比比例进行配比混合,在非自耗真空熔炼炉中,对混合后的合金原料进行熔炼、粉末化、粉末化烧结及热等静压处理,冷却出炉后获得Fe、Al、Co、Cu、Cr、Mn合金靶材。本方法可广泛用于金属‑氧化物
复合材料的制造,并适合进行连续性的工业化生产。
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