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电子束高效提纯多晶硅粉体的设备

1091   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:32:50
本实用新型属于用物理冶金技术提纯多晶硅的技术领域。一种电子束高效提纯多晶硅粉体的设备,设备中由真空盖、炉壁和装粉盖组成真空设备,真空设备内腔是真空室;真空室内上部装有装粉桶,装粉桶顶部带有装粉盖,装粉盖位于真空炉壁上,装粉桶底部带有出料口,出料口装配有外驱式挡粉板,装粉桶出料口底部装有熔炼坩埚,熔炼坩埚底部通过支撑杆固定在真空室底部,熔炼坩埚出料口下方放置拉锭机构,电子枪安装在真空室上部,电子束流对准硅块。本实用新型设备简便、技术稳定、能源消耗少、成本低、整个设备同时应用电子束熔炼硅粉和定向凝固技术,从而实现除磷和除金属的双重效果,适合批量生产硅材料。
声明：
“电子束高效提纯多晶硅粉体的设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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