本发明一种
多晶硅定向凝固设备属于用物理冶金技术提纯多晶硅的技术领域,特别涉及一种用定向凝固方法熔炼多晶硅的设备。该设备外壳的内腔为真空室,真空室内由上耐热纤维保温套、方形侧耐热纤维保温套、下耐热纤维保温套构成封闭的保温区间;在下耐热纤维保温套中部开有一个锥形孔,与拉杆固定相连的耐热纤维散热屏插入其中;多晶硅定向凝固设备有一个支撑台,它由框架形支架和安装在框架形支架上的左、右滑动拉杆构成;设备外壳固定在框架形支架上。该设备有效控制液态多晶硅的散热方式,保证温度梯度始终保持一个方向,使液态多晶硅沿底部单一方向散热,完成多晶硅的定向凝固。具有能耗低、侧境污染小的特点。
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我是此专利(论文)的发明人(作者)