本发明是一种镍氢电池用多层薄膜电极及其制 备方法,薄膜电极由基体薄膜和保护膜组成,基体薄膜的主要 成分为镁和镍,化学组成为Mg[p-x]A[x]Ni[1-y]B[y],保护膜 为催化保护膜Pd、Pt、Ag、Au、Co、C[1-r]Mg[r]Ni[t-q]D[q]中的一种 或二元或多元合金。该制备方法是首先用感应熔炼或
粉末冶金 方法预制合金靶,然后用物理气相沉积方法在基片上制成基体 薄膜,在基体薄膜表面沉积催化保护膜,重复以上步骤得到多 层薄膜。该薄膜可用于镍氢电池负极,特点是薄膜晶粒细小, 具有很大的比表面积,大电流放电性能好,纳米多层复合具有 复合增强效应和多重催化作用,电极使用寿命长;可以集成在 微机械器件中,为微器件的发展提供动力支持。
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