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磁控溅射FE-CO合金靶的制造方法

853   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:32:47
本发明属于冶金制备领域,特别涉及一种磁控溅射FE-CO合金靶的制造方法。该方法以99.97%的电解钴和99.95%的纯铁为原料,经真空熔炼、铸锭、锻造、轧制、矫直,然后机加工成成品。合金成分WT%范围为:FE 25-75%,CO 25-75%;在熔炼过程中浇注温度在合金熔点以上50℃～150℃,锻造温度在800℃～1200℃,轧制温度为850℃～1200℃,锻造和轧制的变形量均大于80%,矫直温度在700℃～1000℃。本发明与现有技术相比具有工艺简单,成本低,成份分布均匀无偏析,晶粒细小均匀,成品的纯度高,密度大、可控尺寸大,厚度薄的优点。
声明：
“磁控溅射FE-CO合金靶的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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