高含钪量铝钪合金靶材及靶材前级材料制备方法,步骤包括(1)制取自耗熔炼的坯棒:将铝颗粒与块状钪混合后压坯,获得坯棒;该坯棒的密度是60%—70%,铝颗粒与块状钪的用量为坯棒合金化后合金中钪含量为30at%—45at%;(2)自耗熔炼:将坯棒置入自耗真空电弧熔炼炉进行自耗熔炼,获得粗坯;(3)电子轰击熔炼炉熔炼:将所述粗坯置入电子轰击熔炼炉进行熔炼,获得高钪铝钪合金靶材或
粉末冶金制靶前级材料。本发明通过集成创新工艺,克服了现有技术工艺存在的诸多缺陷,利用各相关工艺的优点实现协同作用,可以制备出高品质的高钪铝钪合金靶材,或为粉末冶金法制备高钪铝钪合金靶材提供优质前级材料。
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