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多晶硅连续化介质熔炼方法

1104   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 14:32:44
本发明属于多晶硅提纯领域,具体涉及一种多晶硅连续化介质熔炼方法,按照以下步骤进行:将硅料和渣剂在中频感应加热炉中熔化,从而进行第一次介质熔炼,熔炼结束后,将中频感应加热炉中的上层旧渣倒入耐热铸铁模具中,将硅液倒入到电阻炉中,加入渣剂再次进行介质熔炼,最后将电阻炉中的上层旧渣倒入先前的耐热铸铁模具中,硅液倒入另一空置的耐热铸铁模具中冷却凝固即可。本发明的优点在于:(1)提高生产效率20~30%,节省电耗1000~2000度/吨;(2)利用电阻炉代替部分中频炉,减少中频设备数量;(3)电阻炉中用碳化硅坩埚代替石墨坩埚,避免石墨烧损带来的损耗;(4)B杂质含量小于0.3ppmw。
声明:
“多晶硅连续化介质熔炼方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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