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双开拉板式散热的感应熔炼多晶硅铸锭炉

912   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 14:32:44
本实用新型属于用物理冶金技术提纯多晶硅领域。一种双开拉板式散热的感应熔炼多晶硅铸锭炉,感应线圈的内部安装上保温套筒,上保温套筒的上面安装保温套盖,保温套盖通过保温盖连杆连接到炉盖上,保温套筒的里面安装石墨套筒,保温套筒和石墨套筒共同固定在支架上,炉底部分水冷铜托盘通过底座支架连接在炉底盖上,石墨支架直接支撑在水冷铜托盘上,石墨支架上支撑安装石墨托盘,石墨托盘上面是石墨坩埚,石墨坩埚里套装石英坩埚,水冷铜托盘与石墨托盘之间有下保温套筒,下保温套筒上安装有上隔热板和下隔热板,隔热板采用块可分别四个方向拉动的隔热板。本实用新型使用双开拉板的散热方式,精确控制能量转移,增加能量的利用率,降低成本。
声明:
“双开拉板式散热的感应熔炼多晶硅铸锭炉” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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