本实用新型公开了一种电子束熔炼炉用整料进料装置,其由进料箱体、推料机构和进料辊道组成;进料箱体后端封闭,前端工作时与炉室连接并联通形成真空工作环境室;推料装置安装在进料箱体内的上部,其包括一由第一电机减速机驱动旋转的丝杠及套设在丝杠上的第一螺母滑块,第一螺母滑块的底端固定连接用以推动坯料的推动杆;一进料辊道,其通过辊道支点和辊道支撑轮安装在进料箱体内的底部。进料辊道通过一组丝杠调节装置实现横向位移。所述的电子束熔炼炉用整料进料装置中,进料辊道的行进方式为直线前进和摆动前进方式中的最少一种。其是实现低成本、高品质的冶金物理法制备太阳能级
多晶硅的有效设备。
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