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电子束熔炼多晶硅除氧与铸锭耦合的设备

982   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 14:32:44
本实用新型属于冶金熔炼领域,特别涉及一种电子束熔炼多晶硅除氧与铸锭耦合的设备,该设备包括电子束熔炼组件和铸锭耦合组件,电子束熔炼组件包括安装于炉体内上部的水冷传输带,该水冷传输带一侧的炉体壁上设置有加料装置,该加料装置的出料口位于水冷传输带上方,该水冷传输带另一侧向下倾斜并设有导流口,该水冷传输带顶部炉体上固定安装有熔炼用电子枪和辐射用电子枪;铸锭耦合组件包括铸锭装置,铸锭装置位于水冷传输带下方,且水冷传输带的导流口位于铸锭装置的石英坩埚中心的正上方,本实用新型首次提出了电子束熔炼除氧的设备,实现了电子束除氧的效果,同时结合铸锭耦合,降低了铸锭加热原料所需的能耗,大大提高了生产效率。
声明:
“电子束熔炼多晶硅除氧与铸锭耦合的设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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