本实用新型属于用物理冶金技术提纯技术领域,特别涉及一种电子束熔炼提纯
多晶硅的设备,由上腔室和下腔室构成腔室整体,所述上腔室底板上通过坩埚架活动安装有熔炼坩埚,滑动机构通过传动杆安装于熔炼坩埚一侧,上腔室侧壁上固定安装有装料箱,送料带固定安装于装料箱之上,送料带送料口位于熔炼坩埚正上方,下腔室通过导轨机构活动安装于支撑腿之上,且位于上腔室正下方,下腔室底板上固定安装有转动机构,旋转台固定安装于转动机构上,顶撑台活动安装于旋转台之上,凝固坩埚置于顶撑台之上,上腔室底板和下腔室顶板上都开设有硅液倾倒口,本实用新型的设备,结构紧凑,易于操作,安全可控,生产效率高。
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“凝固坩埚旋转式电子束熔炼提纯多晶硅的设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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