权利要求
1.一种用于立式沉积炉中石墨炉管的自动化提取装置,其特征在于,立式沉积炉包括石墨炉管,用于立式沉积炉中石墨炉管的自动化提取装置包括机架、提升架、三级伸缩臂、气动膨胀爪和三级伸缩臂驱动组件,
其中,提升架连接在机架的支撑面上方,用于提升或下降三级伸缩臂;三级伸缩臂的上端与提升架连接,三级伸缩臂的下端与气动膨胀爪连接,且三级伸缩臂位于机架的侧边;三级伸缩臂驱动组件与三级伸缩臂连接,且用于驱动三级伸缩臂上下移动;气动膨胀爪通过压缩空气控制;三级伸缩臂配置为长度可调节,且用于将气动膨胀爪移动至石墨炉管上;气动膨胀爪用于抓取石墨炉管。
2.根据权利要求1所述的一种用于立式沉积炉中石墨炉管的自动化提取装置,其特征在于,还包括石墨炉管暂存座,
其中,石墨炉管暂存座连接在机架的支撑面下方;提升架包括定位传感器,定位传感器用于定位石墨炉管与石墨炉管暂存座的对接;三级伸缩臂与提升架移动连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于立式沉积炉中石墨炉管的自动化提取装置,其特征在于,立式沉积炉还包括与石墨炉管连接的气体分配器,用于立式沉积炉中石墨炉管的自动化提取装置还包括真空吸附盘,
其中,真空吸附盘与气动膨胀爪连接,且通过压缩空气控制;三级伸缩臂还用于将真空吸附盘移动至石墨炉管上。
4.根据权利要求1所述的一种用于立式沉积炉中石墨炉管的自动化提取装置,其特征在于,
三级伸缩臂包括基本臂、第一级伸缩臂和第二级伸缩臂,其中,第一级伸缩臂滑动嵌套于基本臂内,第二级伸缩臂则滑动嵌套于第一级伸缩臂内。
5.根据权利要求1所述的一种用于立式沉积炉中石墨炉管的自动化提取装置,其特征在于,
气动膨胀爪包括气压缸、活塞杆、传动机构、控制阀和夹持爪,其中,气压缸与活塞杆连接,活塞杆与夹持爪连接,传动机构用于将活塞杆的运动转换为夹持爪的夹持或释放动作,活塞杆用于在气压缸内移动时带动夹持爪进行运动;控制阀与气压缸连接,且用于调节气压缸中气压大小和流速。
6.根据权利要求1所述的一种用于立式沉积炉中石墨炉管的自动化提取装置,其特征在于,
真空吸附盘包括吸盘、吸盘架和密封圈,其中,吸盘下分布多个小孔,并与吸盘架的管道相连,以实现真空吸力的传递;
声明:
“用于立式沉积炉中石墨炉管的自动化提取装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)