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1125 匀胶机基于离心力涂覆原理工作：
基片固定：将基片（如硅片、玻璃片）放置在旋转托盘上，通过真空吸附系统（电磁阀控制气路）将基片牢固吸附，防止旋转过程中移位。
滴胶：将光刻胶或涂层液滴加在基片中心位置。
旋转匀胶：电机驱动托盘高速旋转，离心力将胶液从中心向外边界均匀扩散，多余胶液被甩出，最终在基片表面形成均匀的薄膜或涂层。
参数控制：旋转速度、旋转时间、加速度等参数可多段编程（1-5段编辑，12组存储），实现不同厚度和均匀性要求的薄膜制备。
结束与取片：旋转结束后，真空释放，取出涂覆好的基片。
旋转速度和时间、胶液粘度等参数直接影响薄膜的厚度和均匀性，本设备支持100~10000rpm转速、100~10000rpm/s加速度调节，满足多样化工艺需求。
| 电源电压 | AC180-240V（或AC90-130V），单相 |
| 电源功率 | 200W |
| 装片直径 | 10/20/30/......100mm（可选两种规格） |
| 程序控制 | 1-5段（编辑页面），12组参数记忆 |
| 每段时间 | 3000S，分辨率1转/秒 |
| 转速范围 | 100 ~ 10000 rpm |
| 转速分辨率 | 1 rpm |
| 加速度范围 | 100 ~ 10000 rpm/s（空载） |
| 真空输入要求 | 0.06-0.09 MPa，真空流量≥15L/min |
| 真空接口 | 自带6mm管1米 |
| 控制方式 | 触摸显示屏 |
| 外形尺寸 | 250×300×180 mm（不含锅高度，电机轴高度40mm） |
| 重量 | 11 kg |
| 选配件 | 真空泵（5kg） |
选择匀胶机时，需重点关注以下要素：
转速范围：不同材料和膜厚需求不同转速。光刻胶一般1000-6000rpm，较厚涂层用低转速，较薄涂层用高转速。本机100-10000rpm覆盖绝大多数应用。
加速度调节：加速度影响胶液铺展速度和边缘堆积效应。多段可调（100-10000rpm/s）可实现阶梯匀胶，减少边缘珠状缺陷。
基片尺寸：本机装片直径10-100mm可选两种规格，适配不同尺寸硅片、玻璃片等。
程序存储：12组参数记忆功能，可保存不同工艺配方，便于重复实验和批量生产。
真空系统：电磁阀控制气路设计，一个气泵可同时带动多台匀胶机，适合流水线或多工位作业，提高效率。
操作界面：触摸显示屏操作直观，参数设置便捷，支持多段编程（1-5段），每段时间最长3000S。
案例1：光刻胶匀胶工艺优化
某半导体实验室需在4英寸硅片上涂覆AZ光刻胶，目标厚度1.2μm。使用12E匀胶机，设定第一段低速500rpm/3秒摊胶，第二段高速3000rpm/30秒匀胶，实测厚度均匀性±3%，满足光刻要求。
案例2：钙钛矿太阳能电池薄膜制备
某新能源课题组在玻璃基片上旋涂钙钛矿前驱体溶液，要求薄膜平整无针孔。采用本机1500rpm/40秒参数，加速度1500rpm/s，获得的薄膜表面粗糙度低，器件效率提升明显。
案例3：光学滤光片树脂涂层
某光学元件企业需在透镜上涂覆紫外固化树脂，涂层厚度要求5μm。利用匀胶机2000rpm/20秒参数，配合真空吸附固定曲面基片，涂层均匀无流挂，通过了光学性能测试。
案例4：MEMS器件聚酰亚胺涂覆
某微机电系统（MEMS）工厂需在硅片上涂覆聚酰亚胺作为绝缘层，厚度要求8-10μm。通过多段编程（500rpm/5秒→1000rpm/10秒→2500rpm/30秒），实现了厚膜均匀涂覆，避免了气泡产生。
案例5：高校材料科学实验教学
某高校材料学院在实验课程中需演示旋涂法制备薄膜。12E匀胶机操作简单、触摸屏直观，学生可快速掌握参数设置与匀胶原理，教学效果好，设备耐用性得到师生认可。
以上案例表明，慧诺12E匀胶机在半导体光刻、钙钛矿电池、光学镀膜、MEMS制造及高校教学等领域具有操作便捷、匀胶均匀、参数可编程的显著优势和广泛的适用性。
12E匀胶机结构紧凑，主要包含以下单元：
主机与控制单元：集成电机驱动与触摸屏控制系统，外形尺寸250×300×180mm，重量11kg。触摸屏用于参数设置、程序编辑（1-5段，12组存储）、运行监控。
旋转托盘系统：装片直径10-100mm可选两种规格，托盘下方连接电机轴（高度40mm），基片通过真空吸附固定。
真空系统：电磁阀控制气路，真空接口自带6mm管1米，真空输入要求0.06-0.09MPa、流量≥15L/min。电磁阀设计允许多台匀胶机并联使用，共用一台真空泵。
驱动电机：高转矩电机，转速范围100-10000rpm，加速度100-10000rpm/s，运转平稳，转矩优于同类产品。
防护盖（锅）：透明防护盖，防止旋转过程中胶液飞溅，同时便于观察匀胶过程。
选配真空泵：5kg，与主机配合使用，提供稳定真空源。
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贵州 - 贵阳
2026年08月06日 ~ 08日
