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本设备通过电机驱动吸盘带动基片高速旋转,利用离心力将涂覆的胶液均匀铺展成薄膜。其核心创新在于加热系统与旋转系统的协同工作:
加热部件(片托+吸盘)直接控温,可快速升至工艺所需温度(室温~120℃)
放置基片后,片托与基片之间在1-3秒内完成热交换
温控器实时监测并维持设定温度(如100℃±1℃),蓝色加热指示灯闪烁提示加热状态
用户可按需设定加热时间倒计时(RST按钮启动),并通过外接测温仪修正实际温度
该设计解决了传统匀胶机“先加热后转移”导致的温度流失问题,实现恒温旋涂,显著提升膜厚均匀性与附着力。
技术参数| 加热方式 | 片托直接控温,热交换速度约1-3秒 |
| 加热温度范围 | 室温~120℃ |
| 温度稳定度 | ±1℃(约1-3分钟稳定) |
| 加温时间控制 | 1-9999秒或1-9999分钟 |
| 转速范围 | 100~3000rpm |
| 加速度范围 | 100~3000rpm/s |
| 速度调节 | 5段可编程 |
| 参数记忆 | 12组 |
| 转动扭矩 | 100rpm时>1N·m,转速稳定 |
| 吸盘 | 定制,适配5号-100号物品 |
| 电压/功率 | 220V / 600W |
| 外形尺寸 | 400×250×350mm |
选择加热型匀胶机时,需重点关注以下匹配要素:
温度需求:若工艺要求基片在涂胶过程中保持恒定温度(如光刻胶预热、温敏材料涂覆),则必须选用片托直热式机型。NBC-12TV2最高120℃,适合大多数实验室及中试需求。
基片尺寸:根据常用样品尺寸选择吸盘范围。本机适配5号~100号物品,覆盖从微小芯片到较大硅片。
转速与加速度:高加速度(3000转/秒)有利于瞬间摊平胶液,减少边缘堆积;5段速度编程可满足阶梯匀胶工艺。
工艺重复性:12组参数记忆功能确保不同操作者、不同批次之间的工艺一致性。
空间与电源:紧凑尺寸(400mm宽)和220V单相电适应多数实验室台面与供电环境。
建议用户在选型前明确所需涂胶温度、基片尺寸范围、转速曲线要求,也可咨询南北潮商城技术团队获取匹配建议。
案例1:半导体晶圆光刻胶涂覆
某功率器件厂需在8英寸硅片上均匀涂覆厚膜光刻胶,要求胶层厚度波动<±3%。采用NBC-12TV2,设定片托温度80℃,第一段低速500rpm摊胶3秒,第二段高速2000rpm旋涂20秒,结合加热功能显著减少气泡,良率提升12%。
案例2:钙钛矿太阳能电池薄膜制备
某高校实验室在制备钙钛矿前驱体薄膜时,发现常温旋涂易产生结晶不均匀。引入加热型匀胶机后,将片托预热至60℃,旋涂过程中基片保持恒温,薄膜平整度与结晶质量明显改善,器件效率提升8%。
案例3:光学滤光片树脂涂覆
一家光学元件企业需在异形基片上涂覆UV树脂,要求边缘无堆积且快速固化准备。利用本机5段速度程序(200→800→1500→800→0 rpm)及40℃温和加热,实现均匀覆盖,后续固化时间缩短20%。
以上案例表明,加热型匀胶机在温敏材料、高精度薄膜、异形基片等场景中具有不可替代的优势。
设备结构慧诺智能NBC-12TV2加热型匀胶机结构设计紧凑合理,主要包含以下单元:
主机控制单元(400×250×350mm)
面板集成转速/加速度/时间/温度设置按键
数码显示当前转速、设定段数、剩余加热时间
RST按钮用于启动加热倒计时
旋转驱动系统
无刷直流电机,100rpm扭矩>1N·m
转速闭环控制,确保不同负载下转速稳定
加热组件(后部背包式)
独立电源开关
温控器(设定/显示温度)
蓝色加热指示灯(闪烁表示加热中)
连接至片托内部的加热元件
片托与吸盘
片托为直接加热体,与基片接触面高导热材质
定制吸盘可快速更换,适配5号~100号物品(如硅片、玻璃、陶瓷基板)
测温接口(预留)
支持接触式或远红外测温仪进行外部校准
用户可根据实测温度修正温控器设定值
操作流程简要:
开机 → 加热组件通电 → 设定温控器目标温度(如100℃)→ 等待1-3分钟至温度稳定(±1℃)→ 放置基片(热交换1-3秒)→ 启动旋转程序(可选加热计时)→ 完成涂胶。