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气相沉积(CVD)炉

气相沉积(CVD)炉

257
规格/型号:暂无
品牌:晨华
应用领域:材料制备
产地:上海 - 上海
厂家/供应商:上海晨华科技股份有限公司
咨询电话::021-69596938(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-04-11
级别:待认证

气相沉积(CVD)炉说明介绍

气相沉积(CVD)炉

一、设备用途:

用做石墨或碳碳表面的碳化硅涂层、碳碳复合涂层。

用途广泛 如:

1 碳碳复合涂层:光伏晶体炉的热场材料

2 石墨涂层:LED蓝宝石衬底MOCVD的石墨托盘

二、设备特点:

1 立式结构,炉壳用耐腐蚀材料制成。

2 独特的内罩进排气结构,热场温度均匀性好。

3 气氛控制精确,真空系统配有过滤器,可选配尾气处理系统。

4 主要电器元件采用施耐德及欧姆龙品牌,性能稳定、可靠。

5 配备出、装料料车,方便操作及出装料,提高工作效率。

三、主要技术参数:

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上海晨华科技股份有限公司
企业认证:
  
所属领域:
材料制备
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