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超高温硼化物沉积炉

超高温硼化物沉积炉

浏览量 698
规格/型号:HCVD-101015-ZrC
品牌:顶立科技
应用领域:冶金
产地:湖南 - 长沙
厂家/供应商:湖南顶立科技股份有限公司
咨询电话::4006770098(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-02-19
级别:待认证

超高温硼化物沉积炉说明介绍

超高温硼化物沉积炉

超高温硼化物沉积炉


湖南顶立科技的超高温硼化物沉积炉(型号:HCVD-101015-ZrC)是一款专为冶金及新材料领域设计的高性能热工装备,广泛应用于超高温硼化物(如ZrB₂、HfB₂、TaB₂等)的沉积工艺。该设备采用先进的控制技术,能够精密控制H₂、C₃H₆等工艺气体的流量和压力,确保炉膛内沉积气流稳定,压力波动小。其全密闭沉积室设计密封效果优异,抗污染能力强,同时多通道工艺气路可实现流场均匀分布,避免沉积死角,显著提升沉积效果。此外,设备配备多级高效尾气处理系统,能够有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体及低熔点粘性产物,环境友好。

品牌:顶立科技

产地:湖南

型号:HCVD-101015-ZrC

核心参数

温控精度:±5~±20

最高温度:2000

额定温度:2000

非金属电热元件:其他

金属电热元件:其他

烧结气氛:其他

超高温硼化物沉积炉技术特征

采用先进的控制技术,能精密控制H2、C3H6的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动小;

全密闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

多通道工艺气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

多级高效尾气处理系统,能有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物,环境友好;

可选配新设计的防腐蚀真空机组,持续工作时间长,维修率低;

适于工艺气氛:真空/H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2。

超高温硼化物沉积炉产品规格

超高温硼化物沉积炉

超高温硼化物沉积炉配置选择

结构形式:卧式-单开门/双开门;立式-上出料/下出料

炉门锁紧方式:手动/自动

炉壳材质:内层不锈钢/全不锈钢

保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡

加热器、马弗材质:石墨/CFC

热电偶:C/S分度号

红外仪:单比色/双比色

真空泵:机械泵组/耐腐蚀泵组
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湖南顶立科技股份有限公司
企业认证:
营业执照待认证    手机号待认证
所属领域:
冶金
企业性质:
-
经营范围:
-
联系电话:
4006770098
详细地址:
-

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