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超高温硼化物沉积炉

超高温硼化物沉积炉

235
规格/型号：HCVD-101015-ZrC
品牌：顶立科技
应用领域：冶金
产地：湖南 - 长沙
厂家/供应商：湖南顶立科技股份有限公司
咨询电话:：4006770098（请说明信息源自“中冶有色技术网”）
更新时间：2025-02-19
级别：待认证

超高温硼化物沉积炉说明介绍

超高温硼化物沉积炉

超高温硼化物沉积炉


湖南顶立科技的超高温硼化物沉积炉（型号：HCVD-101015-ZrC）是一款专为冶金及新材料领域设计的高性能热工装备，广泛应用于超高温硼化物（如ZrB₂、HfB₂、TaB₂等）的沉积工艺。该设备采用先进的控制技术，能够精密控制H₂、C₃H₆等工艺气体的流量和压力，确保炉膛内沉积气流稳定，压力波动小。其全密闭沉积室设计密封效果优异，抗污染能力强，同时多通道工艺气路可实现流场均匀分布，避免沉积死角，显著提升沉积效果。此外，设备配备多级高效尾气处理系统，能够有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体及低熔点粘性产物，环境友好。

品牌：顶立科技

产地：湖南

型号：HCVD-101015-ZrC

核心参数

温控精度：±5~±20

最高温度：2000

额定温度：2000

非金属电热元件：其他

金属电热元件：其他

烧结气氛：其他

超高温硼化物沉积炉技术特征

采用先进的控制技术，能精密控制H2、C3H6的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动小；

全密闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；

多通道工艺气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；

多级高效尾气处理系统，能有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物，环境友好；

可选配新设计的防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率低；

适于工艺气氛：真空/H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2。

超高温硼化物沉积炉产品规格

超高温硼化物沉积炉

超高温硼化物沉积炉配置选择

结构形式：卧式-单开门/双开门；立式-上出料/下出料

炉门锁紧方式：手动/自动

炉壳材质：内层不锈钢/全不锈钢

保温材质：碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡

加热器、马弗材质：石墨/CFC

热电偶：C/S分度号

红外仪：单比色/双比色

真空泵：机械泵组/耐腐蚀泵组
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标签：
超高温硼化物沉积炉 硼化物沉积炉 冶金设备
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湖南顶立科技股份有限公司
企业认证：
  
所属领域：
冶金
企业性质：
-
经营范围：
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联系电话：
4006770098
详细地址：
-

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