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卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）

卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）

304
规格/型号：HCVD-060609-SIC
品牌：顶立科技
应用领域：材料制备
产地：湖南 - 长沙
厂家/供应商：湖南顶立科技股份有限公司
咨询电话:：4006770098（请说明信息源自“中冶有色网”）
更新时间：2025-02-20
级别：待认证

卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）说明介绍

卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）

卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）


湖南顶立科技的卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）是专为冶金及新材料领域设计的高性能热工装备，广泛应用于碳化硅（SiC）和氮化硼（BN）材料的表面涂层、基体改性及复合材料制备等工艺。该设备采用先进的控制技术，能够精密控制MTS等工艺气体的流量和压力，确保炉膛内沉积气流稳定，压力波动小。其全密闭沉积室设计密封效果好，抗污染能力强，同时多通道工艺气路可实现流场均匀分布，避免沉积死角，显著提升沉积效果。此外，设备配备多级高效尾气处理系统，能够有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物，环境友好。

品牌：顶立科技

产地：湖南

型号： 卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）

核心参数

非金属电热元件：其他

金属电热元件：其他

烧结气氛：其他

产品介绍

卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）技术特征

采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；

全密闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；

多通道工艺气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；

多级高效尾气处理系统，能有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物，环境友好；

可选配新设计的防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低；

使用工艺气氛：真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。

卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）产品规格



卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）配置选择

结构形式：卧式-单开门/双开门；立式-上出料/下出料

炉门锁紧方式：手动/自动

炉壳材质：内层不锈钢/全不锈钢

保温材质：碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡

加热器、马弗材质：石墨/CFC/金属

热电偶：K/N/C/S分度号

真空泵：机械泵组/耐腐蚀泵组

卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）

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