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立式化学气相沉积炉(SiC、BN)

立式化学气相沉积炉(SiC、BN)

浏览量 909
规格/型号:VCVD-0305-SIC
品牌:顶立科技
应用领域:冶金
产地:湖南 - 长沙
厂家/供应商:湖南顶立科技股份有限公司
咨询电话::4006770098(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-02-18
级别:待认证

立式化学气相沉积炉(SiC、BN)说明介绍

立式化学气相沉积炉(SiC、BN)

立式化学气相沉积炉(SiC、BN)


立式化学气相沉积炉(SiC、BN)是专为冶金及材料科学领域设计的高端设备,广泛应用于外延片基座、晶体炉高温耐材、热弯模具、半导体坩埚、陶瓷基复合材料等的表面涂层、基体改性及复合材料制备。设备采用先进的控制技术,能够精密调控MTS流量和压力,确保炉膛内沉积气流稳定,压力波动极小。其全密闭沉积室密封效果好,抗污染能力强,多通道工艺气路设计实现流场均匀,无沉积死角,沉积效果优异。此外,设备配备多级高效尾气处理系统,能有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物,环境友好且安全可靠。最高温度可达1500℃,温控精度为±5℃,适配真空、CH₄、H₂、N₂、Ar、BCI₃、NH₃、MTS等多种工艺气氛,满足复杂的冶金及材料制备需求。

核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件:其他

烧结气氛:真空

温控精度:±5

最高温度:1500

额定温度:1500

产品描述:

立式化学气相沉积炉(SiC、BN)可用于材料的表面涂层、基体改性、复合材料制备等

应用范围:

外延片基座、晶体炉高温耐材、热弯模具、半导体坩埚、陶瓷基复合材料

技术特征

采用先进的控制技术,能精密控制MTS的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;

全密闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

多通道工艺气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

多级高效尾气处理系统,能有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物,环境友好;

可选配新设计的防腐蚀真空机组,持续工作时间长,维修率极低;

使用工艺气氛:真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。

产品规格

立式化学气相沉积炉(SiC、BN)

配置选择

结构形式:卧式-单开门/双开门;立式-上出料/下出料

炉门锁紧方式:手动/自动

炉壳材质:内层不锈钢/全不锈钢

保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡

加热器、马弗材质:石墨/CFC/金属

热电偶:K/N/C/S分度号

真空泵:机械泵组/耐腐蚀泵组

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