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立式化学气相沉积炉(沉积炭)

立式化学气相沉积炉(沉积炭)

246
规格/型号:VCVD-0305-C
品牌:顶立科技
应用领域:材料制备
产地:湖南 - 长沙
厂家/供应商:湖南顶立科技股份有限公司
咨询电话::4006770098(请说明信息源自“中冶有色技术网”)
更新时间:2025-02-20
级别:待认证

立式化学气相沉积炉(沉积炭)说明介绍

立式化学气相沉积炉(沉积炭)

立式化学气相沉积炉(沉积炭)


品牌:顶立科技

产地:湖南

型号:立式化学气相沉积炉(沉积炭)

核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件:其他

烧结气氛:其他

立式化学气相沉积炉(沉积炭)技术特征

电阻炉可采用多温区独立控温,温度均匀性好;

采用智能压力调控,压力波动小;

全封闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

多通道工艺气路,流程均匀,无沉积死角,沉积效果好;

多级高效尾气处理系统,环境友好,能高效收集焦油及副产物,易清理;

可选配外循环快冷系统,降温时间短,生产效率高;

立式化学气相沉积炉(沉积炭)产品规格



立式化学气相沉积炉(沉积炭)配置选择

结构形式:卧式-单开门/双开门;立式-上出料/下出料

炉门锁紧方式:手动/自动

炉壳材质:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡

加热器、马弗:石墨/CFC/金属

热电偶:K/N/C/S分度号

电源:KGPS/IGBT(仅适用于中频加热)
立式化学气相沉积炉(沉积炭)
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