立式化学气相沉积炉(沉积炭)
品牌:顶立科技
产地:湖南
型号:立式化学气相沉积炉(沉积炭)
核心参数
非金属电热元件:其他
金属电热元件:其他
烧结气氛:其他
立式化学气相沉积炉(沉积炭)技术特征
电阻炉可采用多温区独立控温,温度均匀性好;
采用智能压力调控,压力波动小;
全封闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
多通道工艺气路,流程均匀,无沉积死角,沉积效果好;
多级高效尾气处理系统,环境友好,能高效收集焦油及副产物,易清理;
可选配外循环快冷系统,降温时间短,生产效率高;
立式化学气相沉积炉(沉积炭)产品规格
立式化学气相沉积炉(沉积炭)配置选择
结构形式:卧式-单开门/双开门;立式-上出料/下出料
炉门锁紧方式:手动/自动
炉壳材质:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
加热器、马弗:石墨/CFC/金属
热电偶:K/N/C/S分度号
电源:KGPS/IGBT(仅适用于中频加热)