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超高真空电子束蒸发镀膜系统

超高真空电子束蒸发镀膜系统

172
规格/型号：DE400DUL
品牌：德仪天力
应用领域：材料制备
产地：北京 - 北京
厂家/供应商：北京德仪天力科技发展有限公司
咨询电话:：010-67832716/17（请说明信息源自“中冶有色网”）
更新时间：2025-04-02
级别：待认证

超高真空电子束蒸发镀膜系统说明介绍

超高真空电子束蒸发镀膜系统

DE400DUL超高真空电子束蒸发镀膜系统配置一个多坩埚电子束蒸发源，可在基片蒸发沉积金属、半导体或介质材料，是制备lift-off工艺薄膜和低微材料的理想平台。

特点

可选RF等离子体或离子源基片清洗

可选基片氧化

主要配置

蒸发腔体

不锈钢腔体

真空泵 蒸发室配备分子泵或冷凝泵和无油机械泵

真空阀门 高真空阀门

真空测量 宽量程真空计

蒸发源 多坩埚电子束蒸发源

样品台：

自转基片台

可选可倾角和自转基片台

(可选加热至800度)

(可选冷却至-150度)

膜厚检测 晶振速率膜厚监控

预真空样品室：

单基片或多基片装载能力

全自动送样

主要技术指标

极限真空度 5E-9Torr 可选9E-10Torr

基片尺寸 可选：2英寸、4英寸、6英寸、8英寸、12英寸

膜厚均匀性 优于+/-3%

蒸发速率分辨率 0.01 A/s

膜厚分辨率 0.1A
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标签：
超高真空电子束蒸发镀膜系统 电子束蒸发镀膜系统
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北京德仪天力科技发展有限公司
企业认证：
  
所属领域：
材料制备
企业性质：
-
经营范围：
-
联系电话：
010-67832716/17
详细地址：
-

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