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中试-量产 电子束蒸镀机

中试-量产 电子束蒸镀机

330
规格/型号：DE400P
品牌：德仪天力
应用领域：材料制备
产地：北京 - 北京
厂家/供应商：北京德仪天力科技发展有限公司
咨询电话:：010-67832716/17（请说明信息源自“中冶有色网”）
更新时间：2025-04-02
级别：待认证

中试-量产 电子束蒸镀机说明介绍

中试-量产 电子束蒸镀机

DE400P电子束蒸发镀膜系统配备电子束蒸发源或热阻蒸发源，用于沉积金属或介质薄膜及lift-off工艺薄膜沉积。用于批量生产。

特点

可蒸镀金属、半导体、介质材料及磁性材料

制备LIFT-OFF工艺薄膜

薄膜蒸镀在光栅顶部与底部，侧面无薄膜沉积

不锈钢腔体

可选RF等离子体或离子源基片清洗

可选基片氧化

整套系统通过工控机和PLC实现全自动控制

主要配置

镀膜腔体：不锈钢腔体

真空泵：分子泵(或冷凝泵)和干泵

真空阀：高真空插板阀

真空测量：宽量程真空计

镀膜源：多坩埚电子枪、高压电源和束斑扫描器

基片台：装片能力如下描述

薄膜监控：晶振膜厚/速率监控

镀膜室主要技术指标

极限真空压力：<5E-8Torr

大气抽至5E-7Torr时间：<40分钟

基片尺寸：可选：2英寸、4英寸、6英寸、8英寸、12英寸

片内膜厚均匀性：≤+/-3%

片间膜厚重复性：≤+/-2%

装片能力

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标签：
电子束蒸镀机
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企业认证：
  
所属领域：
材料制备
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联系电话：
010-67832716/17
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