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中试-量产 电子束蒸镀机

中试-量产 电子束蒸镀机

330
规格/型号:DE400P
品牌:德仪天力
应用领域:材料制备
产地:北京 - 北京
厂家/供应商:北京德仪天力科技发展有限公司
咨询电话::010-67832716/17(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-04-02
级别:待认证

中试-量产 电子束蒸镀机说明介绍

中试-量产 电子束蒸镀机

DE400P电子束蒸发镀膜系统配备电子束蒸发源或热阻蒸发源,用于沉积金属或介质薄膜及lift-off工艺薄膜沉积。用于批量生产。

特点

可蒸镀金属、半导体、介质材料及磁性材料

制备LIFT-OFF工艺薄膜

薄膜蒸镀在光栅顶部与底部,侧面无薄膜沉积

不锈钢腔体

可选RF等离子体或离子源基片清洗

可选基片氧化

整套系统通过工控机和PLC实现全自动控制

主要配置

镀膜腔体:不锈钢腔体

真空泵:分子泵(或冷凝泵)和干泵

真空阀:高真空插板阀

真空测量:宽量程真空计

镀膜源:多坩埚电子枪、高压电源和束斑扫描器

基片台:装片能力如下描述

薄膜监控:晶振膜厚/速率监控

镀膜室主要技术指标

极限真空压力:<5E-8Torr

大气抽至5E-7Torr时间:<40分钟

基片尺寸:可选:2英寸、4英寸、6英寸、8英寸、12英寸

片内膜厚均匀性:≤+/-3%

片间膜厚重复性:≤+/-2%

装片能力

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标签:
电子束蒸镀机

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北京德仪天力科技发展有限公司
企业认证:
  
所属领域:
材料制备
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010-67832716/17
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