江苏苏青水处理工程集团有限公司
宣传

位置:北方有色 > 有色产品 >

> 加工设备

> 电子束蒸发镀膜系统

电子束蒸发镀膜系统

电子束蒸发镀膜系统

浏览量 842
规格/型号:暂无
品牌:科睿设备
应用领域:加工设备
产地:上海 - 上海
厂家/供应商:科睿设备有限公司
咨询电话::852-2710-8200(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-06-15
级别:待认证

电子束蒸发镀膜系统说明介绍

电子束蒸发镀膜系统

电子束蒸发镀膜系统


(E-Beam Evaporator System)

电子束蒸发镀膜系统(E-Beam Evaporator System)是由美国专业制造商生产的高性能薄膜制备设备,适用于薄膜半导体材料的制备。该系统具备电子束蒸发、热阻蒸发、离子束辅助蒸发镀膜(IBAD)和泻流源等多种功能模式。其技术参数包括304不锈钢圆柱形腔体(标准直径18英寸和24英寸)、分子泵或冷凝泵真空系统、手动或自动传片的Load Lock(适合200mm以下样品)、PC/PLC自动控制界面、QCM和光学膜厚监控、RGA残余气体分析、多种衬底夹具(单片、多片、行星式)以及可加热、冷却、偏压和旋转的衬底支架。此外,系统还支持多种沉积技术,包括射频、直流和脉冲直流磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发、有机蒸发(用于OLED/PLED和有机电子)、倾斜角沉积(GLAD)和阴极等离子体辅助沉积,能够满足从研发到生产的多样化需求。

仪器介绍:

美国专业的制造商,拥有20多年丰富的经验在:电子束蒸发设备、磁控溅射设备、热蒸发设备等。有以下功能模式:

electron beam evaporation, 电子束蒸发;

resistive evaporation,热阻蒸发;

ion beam assisted deposition (IBAD), 离子束辅助蒸发镀膜;

effusion cell,泻流源。

技术参数:

Vacuum Chamber: 304不锈钢圆柱形腔体,标准直径有18英寸和24英寸 –   scaled to match the specific application;

Pumping: 分子泵或冷凝泵;

Load Lock: 手动传片或自动传片,适合各种形状尺寸的小片到200mm大的圆片,高真空背景传递;

Process Control: PC / PLC自动控制界面,菜单控制,数据获取和远程控制 ;

In-Situ Monitoring & Control: QCM膜厚监控,光学膜厚监控;

RGA残余气体分析;

Substrate Fixture: 单片,多片,行星式衬底夹具;

Substrate Holders: 可加热,冷却,偏压,旋转;

Ion Source: 衬底预清洗,纳米表面改性。

Deposition Techniques:

Magnetron Sputtering  RF, DC, or Pulsed-DC,具有射频溅射,直流溅射,脉冲直流溅射;

Electron Beam Evaporation,电子束蒸发;

Thermal Evaporation,热蒸发;

Organic Evaporation for OLED/ PLED and Organic Electronics,有机蒸发(用于OLED/ PLED和有机电子);

Glancing Angle Depostion (GLAD),倾斜角沉积

Cathodic Arc Plasma Deposition,阴极等离子体辅助沉积。

点赞
收藏
分享
         
咨询底价咨询底价
上一个: 反应离子刻蚀系统 下一个: 高温箱式炉

与“电子束蒸发镀膜系统”相关的最新需求

有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 铝合金应用难题被攻克,服役温度从350℃提升至500℃ 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 西工大王锦程团队:难熔高熵合金激光增材制造取得新突破! 2.06亿元“抢滩”固态电池:华域汽车收购上汽清陶49%股权背后的三重逻辑 四川生态修复带来大变化,废弃矿山变绿洲 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 耐普矿机董事长郑昊:选矿设备制造宜向大型化、高端化方向发展 强势上涨!铜价破8万大关,创18年新高 没资质千万别碰!无证回收废电池违法! 衡水市:独立储能发展布局指导方案印发 小知识 | 铝矾土和铝矿石、铝土矿的区别 小知识 | 金属钼了解一下 小知识 | 什么是钠离子电池?比起锂电池有什么优势? 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一) 欣旺达在固态电池领域取得突破性进展,预计2025年完成产品开发 动力电池向高能量密度迭代,固态电池成“兵家必争之地” 铜业百科 | 铜合金的分类及合金元素的作用 钨矿——工业之基,战争金属之王 《钴产业发展报告(2025)》重磅发布--助你穿透行业迷雾,把握战略机遇 有色金属:六种战争金属性能详解 推动节能降碳!陕西省有色金属行业碳达峰实施方案发布 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(三段炉炼铅法) 六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施 2025年8月中国动力电池行业报告:龙头企业优势明显 铜业百科 | 辨别纯铜的方法有哪些 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资
科睿设备有限公司
企业认证:
营业执照待认证    手机号待认证
所属领域:
加工设备
企业性质:
-
经营范围:
-
联系电话:
852-2710-8200
详细地址:
-

报名参会

召开地址 贵州 - 贵阳
召开日期 2026年08月06日 ~ 08日
召开地址 内蒙 - 呼和浩特
召开日期 2026年08月12日 ~ 14日
召开地址 河南 - 郑州
召开日期 2026年08月15日 ~ 17日
召开地址 河南 - 洛阳
召开日期 2026年08月21日 ~ 23日
硒产业发展报告2026
推广

推荐产品
更多+

厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
山东省章丘鼓风机股份有限公司
宣传

推荐企业
更多+

最新更新产品

旋转缩分机
2026-07-31
密封式棒磨机
2026-07-31
2L台式旋转缩分机
2026-07-31
破碎缩分一体机
2026-07-31
筒型外滤式过滤机
2026-07-31
高效深锥浓缩机
2026-07-31
锌粉置换选金
2026-07-31
精密挤压棒
2026-07-31

慧博士报告
更多+

安徽霍桐仪器有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
店铺认领信息登记
0.197067s