本实用新型公开了一种电子级高纯氯化氢制备单元,包括原料气源、第一气体压缩输送设备、干燥器、第二气体压缩输送设备、脱轻精馏塔、脱重精馏塔、成品罐、回收精馏塔、升压汽化器以及钢瓶。本实用新型公开的电子级高纯氯化氢制备单元,变废为宝,没有造成新的污染,减轻了环保压力,提高经济效益,与合成法比较,安全性提高,不会造成爆炸危险;与脱水法比较,安全性提高,环保压力大大降低,设备建设要求降低,行政风险降低;与复分解法比较,除安全性和环保压力提升外,后续处理难度降低,有利于产品的纯化和收益率提高,竞争力提高。
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