本发明涉及无铅压电薄膜材料及其制备方法,可有效解决铅基薄膜材料的制备及在制备、使用及废弃的过程中对生态环境和人类健康带来危害的问题,本发明解决的技术方案是,本发明无铅压电薄膜材料为钛酸铋钠?钴酸铋无铅压电薄膜材料(1-x)Bi0.5Na0.5TiO3?xBiCoO3(BNT?BC),其中x为摩尔数,0<x≤0.06,其制备方法采用PLD制备钛酸铋钠钴酸铋压电薄膜,本发明组分简单,原料丰富,易于制备,产品质量好,性能稳定、优异,是无铅压电薄膜材料上的创新,有良好的经济和社会效益。
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