合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 环境保护技术

> 固/危废处置技术

> 一种检测经平坦化处理的晶片的平坦程度的方法

一种检测经平坦化处理的晶片的平坦程度的方法

1013   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:12:43
本发明提供一种检测经平坦化处理的晶片的平坦程度的方法，包括：在形成有金属塞的晶片表面形成金属层，经刻蚀，使其形成多个彼此间隔的金属区；进行平坦化处理；形成金属测试层；局部刻蚀金属测试层，使其形成具有多道弯折的蛇形金属测试区，所形成的蛇形金属测试区位于与金属区间隔处相对应的位置上，并且使蛇形金属测试区的两端分别与未刻蚀的金属测试层连接，形成试样金属测试层；分别检测试样金属测试层和对照金属测试层的电参数，通过两者电参数值之间的接近程度来评估晶片的平坦程度。本发明在制备CMOS器件过程中即可将平坦程度较差的芯片报废，从而避免进行后续的封装测试或者器件在后续应用中失效而带来更大的危害或造成更大的损失。
声明：
“一种检测经平坦化处理的晶片的平坦程度的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
危废
上一个：一种利用富铬污泥制备甲萘醌联产铬鞣剂的方法
下一个：三乙醇胺为芯的具有羧酸盐侧基及二硫代羧酸盐端基的星形超支化聚合物、制备方法及用途

与 “一种检测经平坦化处理的晶片的平坦程度的方法” 相关技术

▪ 利用锂云母冶炼渣吸附水体中铅离子的方法
▪ 钽铌冶炼废水的处理方法
▪ 利用碳化硅废渣冶炼富锰渣的混合搅拌装置
▪ 镍钴冶炼废硫酸浓缩脱氟氯工艺及系统
▪ 离子型稀土矿冶炼分离的预处理方法
▪ 炼化污水深度处理高效生物催化技术
▪ 勘测地质用探入式矿石分析仪
▪ 硫化铜镍矿矿石品位快速确定装置及其方法
▪ 深部矿产资源勘查分析装置
▪ 地质钻探取管装置及取管方法

相关固/危废处置设备推荐

库顶布袋除尘器
10kv看门狗真空开关 高压断路器
畅东环保设备销售-废水处理一体化设备厂-南沙废水处理设备
激光雕刻机烟雾异味净化装置 烟尘过滤器 废气净化设备
实验室有机玻璃箱体订做
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪利用锂云母冶炼渣吸附水体中铅离子的方法
▪钽铌冶炼废水的处理方法
▪利用碳化硅废渣冶炼富锰渣的混合搅拌装置
▪镍钴冶炼废硫酸浓缩脱氟氯工艺及系统
▪离子型稀土矿冶炼分离的预处理方法
▪炼化污水深度处理高效生物催化技术
▪勘测地质用探入式矿石分析仪
▪硫化铜镍矿矿石品位快速确定装置及其方法
▪深部矿产资源勘查分析装置
▪地质钻探取管装置及取管方法

报名参会
更多+

特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
2024年12月27日 ~ 29日
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024年12月27日 ~ 29日
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 废光伏组件拆解回收与稀贵金属回
下载:155
2 退役动力电池资源化回收关键技术
下载:118
3 基于热还原法选择性回收废旧锂离
下载:116
4 复杂铜基多金属固废绿色协同冶炼
下载:114
5 工业石膏资源化综合利用新技术开
下载:111
6 废旧锂电全组分回收与利用
下载:111
7 多固废协同促进尾矿跨区域大规模
下载:103
8 涉重危废资源化利用理论体系构建
下载:102
9 稀土固废多组分协同提取与再生技
下载:99
10 废旧磷酸铁锂电池梯次利用进展
下载:97
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1铝灰处理方法
2锂渣固废资源化回收工艺
3矿石分级土壤处理装置
4钽铌湿法冶金废水处理方法
5铜矿选矿尾渣废物利用方法
6铅锌矿选矿废水处理装置
7利用微波辅助降解选矿废水中氰离子的方法
8选矿废水深度处理回用装置
9含镍铁渣固废的无害化处理方法
10钢铁烧结烟气中二氧化碳捕集的系统及方法
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记