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多晶硅铸锭炉保护气循环系统

905   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:12:41
本发明公开了一种多晶硅铸锭炉保护气循环系统，进气管的出口处设置有螺旋桨，石墨护罩上设置有排气孔，排出的尾气经集气罩集气后通过排气管排出至炉体外部，并导入至吸收器内的吸收液内，且吸收器具有搅拌器用于搅拌吸收液；经吸收后的尾气经干燥器干燥后导入至尾气回收罐，并通过进气管及螺旋桨循环进入石墨护罩腔室内。该发明使得保护气形成有效的螺旋流动并带动硅液流动而有效排出杂质，废气经集气后排出至吸收器进行吸收一氧化碳，净化后的保护气经干燥后进入回收罐以重复使用，有效避免了一氧化碳气体进入大气而导致危害发生，且净化后的保护气可以重复回收使用而降低了使用成本。
声明：
“多晶硅铸锭炉保护气循环系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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