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半导体前段设备模组的排气装置

897   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:06:14
本发明提供了一种半导体前段设备模组的排气装置，包括：集气箱，设置于废气源的下方，集气箱的顶部设置有开口面，集气箱的内部经由开口面与废气源相连通，其中所述废气源包含半导体前段设备模组；排气管路，设置于集气箱底部或侧面，且所述排气管路的一端与集气箱内部相连通。本发明提供了一种半导体前段设备模组的排气装置，通过引入设置于半导体前段设备模组下方的集气箱，并将废气从排气管路排出，避免了因有毒废气泄露而对周边环境造成的危害；此外，还在半导体前段设备模组内产生垂直向下的气流，减少了半导体前段设备模组内因涡流产生的颗粒污染，提高了晶圆良率。
声明：
“半导体前段设备模组的排气装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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