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一种高温扩散设备

1057   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 06:06:13
本实用新型公开了一种高温扩散设备,包括真空泵,所述排废管的左侧设有第二弧形管,所述排废管的外侧套接有第一弧形管,所述第一弧形管与排废管的中间留有空隙,所述第一弧形管的外侧上端设有出气口,该高温扩散设备由真空泵连接干燥过滤装置,由真空表显示扩散炉管内腔的压力,通过加热仓加热,由进气管和排废管实现整个装置,通过对原有基础的排气管进行改造,解决了排废管的腐蚀断裂,增加了排废管使用寿命,减少了人员的工作劳动,有利于提高设备的正常运行率,同时也降低偏磷酸对人体的危害。使得气体可以通过排废管上的排气孔快速排放,可以快速排走,加快工艺废气的排放,减少腐蚀,提高片内、片间扩散的均匀性。
声明:
“一种高温扩散设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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