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一种具备废气处理功能的等离子体刻蚀机

707   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:04:51
本实用新型公开了一种具备废气处理功能的等离子体刻蚀机，包括刻蚀机本体和净化箱，所述净化箱的右侧固定连接有过滤箱。本实用新型通过刻蚀机本体、净化箱、过滤箱、吸风机、排风管、过滤芯、水箱、水泵、输水管、支撑杆、活动框、喷头、电动推杆、移动杆、传动轴、固定板、固定盒、滑杆、滑套、限位杆、限位槽、复位弹簧、支撑柱、支杆和拉杆的配合使用，具备过滤效果好和便于拆卸过滤芯的优点，解决了现有的等离子刻蚀机在排出废气的过程中仅仅是将产生的气体初步过滤后排出，并没有对酸性气体进行中和反应，直接排出会对环境产生较大的危害，而且不便于对过滤芯进行拆卸清理，从而容易降低等离子刻蚀机实用性的问题。
声明：
“一种具备废气处理功能的等离子体刻蚀机” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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