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一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收方法及装置

1125   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:02:14
一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收方法，包括合成炉和硅粉收集罐，具体操作步骤包括，A、在合成炉正常停车后，对合成炉进行置换；B、在置换合格后，将合成炉底部硅粉泄放阀与硅粉收集罐通过金属软管进行相连，通过氮气进口管线向合成炉通入氮气；C、打开硅粉泄放阀，氮气连同硅粉被带入硅粉收集罐，氮气通过硅粉收集罐顶部布袋过滤器被放空，使硅粉被收集到硅粉收集罐内，实现了硅粉的全部回收使用。本发明的有益效果如下：本方法工艺简单，工艺条件易于实现，且操作方便；再生产中可以将合成炉内废旧硅粉全部回收再使用，同时回收时不会对人员身体产生粉尘危害。本发明同时公开了三氯氢硅合成炉废硅粉回收装置。
声明：
“一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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