本实用新型提供了一种
多晶硅废水分类处理及回收利用系统,包括酸洗废水处理系统和硅粉碳化硅废水处理系统;所述硅粉碳化硅废水处理系统包括固液分离单元,分别与固液分离单元连接的切割砂浆处理系统和切割废液处理系统。本实用新型提供的多晶硅废水分类处理及回收利用系统,将多晶硅废水分类并分别通过酸洗废水处理系统和硅粉碳化硅废水处理系统进行处理,层次分明地对多晶硅废水进行分类处理、回收利用,降低了多晶硅废水中氟离子对环境的危害,最大限度地回收了聚乙二醇、硅、碳化硅,实现了既确保出水达标,又减小了多晶硅废水运行成本的效果。
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