本实用新型公开了一种碳化硅线切装置,包括底座,底座顶端的两侧均设有支撑板,其中一个支撑板一侧的顶部设有气缸座,气缸座的一端安装有气缸,气缸的输出端与固定板的一侧固定连接,固定板底端开设有凹槽,凹槽顶端的内壁设有震动电机,震动电机的输出端设有震荡板,本实用新型一种碳化硅线切装置,通过设有的气缸带动固定板,从而带动晶棒咋切割线上来回往复运动,因此使得切割的品质均匀,不会有断线的危险,且切割效果好;通过设有的震动电机,可以加快晶棒切割后废屑脱离晶棒;通过在出料管口设有的超声波发生器,利用超声波产生正玄波传递特性,增加排削性以及切割能力,且利用介质传递超声波可避免硬件损耗与精度跑偏。
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