本发明涉及废气处理技术领域,提供了一种用于六氟化硫检测尾气的净化处理方法,包括以下步骤:1)六氟化硫检测尾气与过量的浓硫酸在室温下接触,将尾气中的还原性组分氧化生成二氧化硫;2)步骤1)处理后的混合气体再与催化剂作用,将步骤1)生成的二氧化硫及混合气体中原有二氧化硫经催化反应生成三氧化硫;3)将步骤2)处理后的混合气体与水接触,所述三氧化硫与水反应生成稀硫酸,将处理后的混合气体排入大气或排入回收装置再利用。本发明原理简单,安全性好,特别是实现了所需危害性(腐蚀性)药剂的循环回收和利用,具有良好的环境和经济效益。
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