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用于制备石墨烯的智能型基片湿法腐蚀处理装置

872   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 05:45:14
本发明涉及一种用于制备石墨烯的智能型基片湿法腐蚀处理装置，包括底座、供液机构、清洗盒、密封板、夹持机构、喷头、移动机构、控制器和排气机构，移动机构包括第一电机、缓冲块、第一驱动轴、滑块、固定杆和摆动组件，排气机构包括入气管、处理盒、加料管、加料盒和排气管，加料盒内设有加料组件，供液机构包括支柱、供液盒、第一水管、第二水管、第三水管和水泵，该用于制备石墨烯的智能型基片湿法腐蚀处理装置通过移动机构带动喷头移动对基片的各处进行冲刷清洗，去除基片表面的杂质，使气相反应沉积时石墨烯均匀分布在基片表面，不仅如此，通过排气机构吸收清洗产生的二氧化氮，防止废气危害操作人员，进一步提高了设备的实用性。
声明：
“用于制备石墨烯的智能型基片湿法腐蚀处理装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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