本实用新型提供一种可进行氢氟酸回收利用的清洗装置。现有技术未对清洗所用的氢氟酸进行回收利用而直接作为废液处理,从而造成了成本浪费,另外增加了操作人员受氢氟酸危害的风险。本实用新型的可进行氢氟酸回收利用的清洗装置包括第一氢氟酸槽和第二氢氟酸槽,所述第二氢氟酸槽中的氢氟酸浓度大于第一氢氟酸槽中氢氟酸的浓度,所述第二氢氟酸槽具有第一溢流管道,所述第一溢流管道通过向下倾斜设置的第一连接管道连接至第一氢氟酸槽,所述第二氢氟酸槽中超过预设液位的氢氟酸通过第一溢流管道和第一连接管道流入第一氢氟酸槽。本实用新型有效降低了成本,并降低了操作人员受氢氟酸危害的风险。
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