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高真空碘化铯物理气相沉积镀膜设备

978   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 05:39:16
本实用新型涉及镀膜设备技术领域，且公开了一种高真空碘化铯物理气相沉积镀膜设备，包括第一镀膜罐体和第二镀膜罐体，所述第一镀膜罐体与第二镀膜罐体通过罐体锁轴转动连接，所述第一镀膜罐体和第二镀膜罐体的内部均设置有真空镀膜腔，所述第二镀膜罐体的内侧设置有分子镀膜窗。该碘化铯物理气相沉积镀膜设备，转换阀管可以控制罐内气体的输出方向，在镀膜加工前，通过真空泵端口将罐体内部的空气抽出，转换阀管的一侧设置有废水箱端口，废水箱端口与水箱连接，在镀膜完成后，将抽出的碘化铯蒸汽通过废水箱端口输入到水箱的内部，使碘化铯蒸汽溶于水中，这样便可以避免碘化铯蒸汽进入到空气中对人体造成危害。
声明：
“高真空碘化铯物理气相沉积镀膜设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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