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光刻胶剥离液再生方法

904   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 05:38:04
本发明公开了一种光刻胶剥离液再生方法，包括以下步骤：S1：回收剥离液新液使用后的剥离液废液，将剥离液废液经过蒸馏、加压工序，得出剥离液废液的纯化液体；纯化液体中含有酰胺化合物、醇醚化合物以及胺化合物；S2：制备添加剂，添加剂中含有醇醚化合物、胺化合物、缓蚀剂以及润湿剂；S3：将步骤S1的剥离液废液与添加剂混合，重新制备剥离液新液，制备过程中加入酰胺化合物或醇醚化合物。本发明对剥离液废液进行加压、蒸馏等处理，得出纯化液体，该纯化液体中所含的物质是剥离液新液中所含有的某些组分，而通过预先制备添加剂，可以在得出纯化液体后直接加入添加剂以及原材料，重新配备剥离液新液，使得剥离液废液得以循环再生，减少资源的浪费以及对环境的危害。
声明：
“光刻胶剥离液再生方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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