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光刻胶剥离液再生方法

853   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 05:38:04
本发明公开了一种光刻胶剥离液再生方法,包括以下步骤:S1:回收剥离液新液使用后的剥离液废液,将剥离液废液经过蒸馏、加压工序,得出剥离液废液的纯化液体;纯化液体中含有酰胺化合物、醇醚化合物以及胺化合物;S2:制备添加剂,添加剂中含有醇醚化合物、胺化合物、缓蚀剂以及润湿剂;S3:将步骤S1的剥离液废液与添加剂混合,重新制备剥离液新液,制备过程中加入酰胺化合物或醇醚化合物。本发明对剥离液废液进行加压、蒸馏等处理,得出纯化液体,该纯化液体中所含的物质是剥离液新液中所含有的某些组分,而通过预先制备添加剂,可以在得出纯化液体后直接加入添加剂以及原材料,重新配备剥离液新液,使得剥离液废液得以循环再生,减少资源的浪费以及对环境的危害。
声明:
“光刻胶剥离液再生方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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