本实用新型公开了一种高温扩散设备,包括
真空泵,所述排废管的左侧设有第二弧形管,所述排废管的外侧套接有第一弧形管,所述第一弧形管与排废管的中间留有空隙,所述第一弧形管的外侧上端设有出气口,该高温扩散设备由真空泵连接干燥过滤装置,由真空表显示扩散炉管内腔的压力,通过加热仓加热,由进气管和排废管实现整个装置,通过对原有基础的排气管进行改造,解决了排废管的腐蚀断裂,增加了排废管使用寿命,减少了人员的工作劳动,有利于提高设备的正常运行率,同时也降低偏磷酸对人体的危害。使得气体可以通过排废管上的排气孔快速排放,可以快速排走,加快工艺废气的排放,减少腐蚀,提高片内、片间扩散的均匀性。
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