本发明涉及氧化锌掺杂的钛酸铋钠?钴酸铋压电薄膜及其制备方法,可有效克服铅基薄膜材料在生产、使用及废弃的过程中个生态环境和人类健康带来的危害的问题,方法是,按照0.97Bi0.5Na0.5TiO3?0.03BiCoO3+x%wtZnO的化学计量称取原料Bi2O3、NaCO3、TiO2、Co2O3和ZnO,以乙醇为介质球磨,烘干,700℃预烧3h,再以乙醇为介质球磨,烘干,压制成坯片,烧结成BNT?BC?ZnO靶材;将BNT?BC?ZnO靶材和(111)Pt/Ti/SiO2/Si(001)基片分别安装在靶材托和基片托上,调整靶材和基片的距离,抽真空,加热基片,在背底真空达到10?4?Pa、基片温度500?700℃后,通入氩气和氧气,气压0.5?5Pa;调节溅射功率为50?200W,靶材起辉后,开始生长薄膜,薄膜生长结束,原位退火,即成,本发明材料配方简单,易制备,产品质量好,环保。
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