本实用新型涉及废气处理设备技术领域,具体为一种半导体废气处理设备止回阀,包括上盖和下盖,上盖和下盖的中部贯穿设置通孔,所述上盖靠近下盖的外侧突出设置上凸起,所述下盖在靠近上盖的外侧突出设置下凸起,本实用新型的有益效果是:本止回阀因其在等压环境下为闭合状态,具有自动复位功能,所以安装位置及角度不受限制,角度可以随意安装,很大程度上提高了实用性能;机台内安装位置不受限制,在进口、出口都可安装,装在进气口更加有效的避免气体逆流引起管路高温危险;相比传统的技术,本实用新型通过逆止挡板的设计,可以做到有效密封,避免磨损;本实用新型适用性强,可以更改进出口连接方式进而应用在走水管路中。
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