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三氯氢硅合成炉停炉后废硅粉回收系统

1080   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 05:34:50
本实用新型提供一种三氯氢硅合成炉停炉后废硅粉回收系统，通过设置进料管线和卸料管线，并借助真空泵，将三氯氢硅合成炉内的废硅粉输送至分离器中，一方面，实现了废硅粉的封闭式回收，避免了硅粉与空气中氧气和水分接触，保证的硅粉的活性，也降低了闪爆的危险，提高安全性；另一方面，降低人工劳动强度，保护了职工身体健康；通过分离器对废硅粉中的大颗粒的硅粉与小颗粒的硅尘进行分离，将大颗粒的硅粉输回收至三氯氢硅合成炉内，避免将失去活性的小颗粒硅尘带入三氯氢硅合成炉内，能够延长三氯氢硅合成炉的检修周期；该废硅粉回收系统结构简单，易于操作。
声明：
“三氯氢硅合成炉停炉后废硅粉回收系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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